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1999
Journal Article
Title
Wohltemperierte Siliziumscheiben - Simulation und Messung der Temperaturverteilung in einem vertikalen Schichtabscheideofen
Abstract
Die Temperaturverteilung in einem Schichtabscheideofen fuer Silicumscheiben wurde untersucht. Dazu wurden Simulationen mit dem Programm Phoenics-CVD und Messungen mit Thermoelementdrahtpaaren durchgefuehrt. Fuer die Simulation der Regelkreise wurde ein neuer Algorithmus programmiert. Experiment und Simulation zeigen hervorragende Uebereinstimmung.
Language
German