Wohltemperierte Siliziumscheiben - Simulation und Messung der Temperaturverteilung in einem vertikalen Schichtabscheideofen

Die Temperaturverteilung in einem Schichtabscheideofen fuer Silicumscheiben wurde untersucht. Dazu wurden Simulationen mit dem Programm Phoenics-CVD und Messungen mit Thermoelementdrahtpaaren durchgefuehrt. Fuer die Simulation der Regelkreise wurde ein neuer Algorithmus programmiert. Experiment und Simulation zeigen hervorragende Uebereinstimmung.