MOEMS basierte Displays und Bildgebende Systeme

Sogenannte Mikro-Opto-Elektro-Mechanische Systeme (MOEMS) sind elektronisch ansteuerbare Bauelemente, die aufgrund ihrer optischen Funktionalität dafür sorgen, dass Licht räumlich und zeitlich moduliert werden kann. Dabei kommen vor allem zwei Typen von MOEMS zum Einsatz: +Flächenlichtmodulatoren (Spatial Light Modulator: SLM) und +Micro-Scannerspiegel (Micro Scanner Mirror: MSM) SLM haben eine matrixartige Struktur (Array) und eigenen sich bestens zur Erzeugung von Bildern oder Mustern, da aufgrund der Matrixstruktur die Generierung von Bildern und Mustern parallel erfolgen kann. Die Ansteuerung der Pixel und damit die Bildgenerierung kann sowohl digital als auch analog erfolgen. Einsatzgebiete der SLMs sind u.a. Projektionsdisplays, Wellenfrontkorrektur, optisches Prozessieren und Lithographie. MSMs sind Bauelemente, die aus einem auf einer Kippachse (oder auf einer kardanischen Aufhängung) realisierten Einzelspiegel bestehen und dadurch 1D und 2D Winkelablenkung von Licht erlauben. In Form von MSMs stehen mikrominiaturisierte Ablenkeinheiten (scan engines ) für Licht zur Projektion, aber auch zur Datenerfassung zur Verfügung. Der Beitrag stellt den Stand der Forschung und Entwicklung solcher Systeme, sowie typische Applikationen vor.