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Piezoelektrisch auslenkbarer Mikrospiegel für die aktive Fokusvariation
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2010
Book Article
Title
Piezoelektrisch auslenkbarer Mikrospiegel für die aktive Fokusvariation
Author(s)
Conrad, H.
Mainwork
Institut für Halbleiter und Mikrosystemtechnik. Jahresbericht 2009
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
