Wafer-Scale-Fertigung von Miniaturoptiken

Hochpräzise Linsenarrays finden zunehmende Anwendung in verschiedenen Bereichen. Dabei trifft komplexes optisches Design auf die Forderung nach kostengünstiger Fertigung. Der Beitrag stellt abformende Verfahren für komplexe Geometrien vor und beschreibt dazu die Fertigung von hochpräzisen optischen Mikrolinsen im Wafer-Maßstab. Das Herstellungsverfahren wird erläutert und die Bauteiloberfläche wird messtechnisch charakterisiert. Der Schlüssel zu diesem Fertigungsverfahren ist der Werkzeugbau, auch darauf geht der Beitrag näher ein.