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Konferenzschrift
Neuartiger frequenz- und amplitudenabstimmbarer Infrarotfilter
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2011
Conference Paper
Title
Neuartiger frequenz- und amplitudenabstimmbarer Infrarotfilter
Author(s)
Specht, H.
Meinig, Marco
Kurth, Steffen
Hiller, Karla
Ebermann, M.
Neumann, N.
Gittler, E.
Geßner, Thomas
Mainwork
MikroSystemTechnik Kongress 2011
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2011
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS