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Konferenzschrift
Simulation von Plasmaprozessen
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2015
Conference Paper
Title
Simulation von Plasmaprozessen
Author(s)
Pflug, A.
Mainwork
Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte
Conference
Seminar "Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte" 2015
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
