Options
2000
Journal Article
Title
Miniaturisierung und Mikrosystemtechnik
Abstract
Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie sind Begriffe, mit denen neue technische Entwicklungen von Komponenten umschrieben werden, deren Dimensionen sich von Millimetern bis zu Nanometern bewegen. Mikrosysteme bestehen aus mechanischen Elementen und enthalten die für die Funktion erforderlichen elektronsichen Bausteine. In der Nanotechnoogie wird versucht, die atomare Struktur von Molekülen oder Kristallen durch Einlagerung oder Herausnahme einzelner Atome zu verändern.
Language
German
Keyword(s)