Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen

Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erfordern die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden unabhängig von ihrem Einsatzgebiet flächenmäßig in verschiedensten Größen erstellt. Das Spektrum reicht von der sogenannten Laminar Flow-Box bis zum Großreinraum mit einigen tausend Quadratmetern. Allen Reinraumanlagen ist gemein, daß nach der Inbetriebnahme zum Nachweis der spezifizierten Qualität Abnahmemessungen durchgeführt werden müssen. Im vorliegenden Beitrag wird auf die Vorgehensweisen der Abnahmemessungen eingegangen, die sich weitgehend an der VDI-Richtlinie 2083, Blatt 3 orientieren. Weitere abnahmespezifische Richtlinien und Normen werden auszugsweise mit einbezogen. Die Abnahme eines Reinraums ist prinzipiell ein formaler Akt, dem überlicherweise Abnahmemessungen vorangestellt werden. Mit Hilfe von Messungen muß der Reinraumhersteller gegenüber dem Nutzer nachweisen, daß er alle Spez ifikationen des Reinraumes unter den vereinbarten Betriebsbedingungen erfüllt. Um Abnahmemessungen durchzuführen, müssen Umfang und Art der Messungen zwischen Betreiber und Reinraumhersteller vereinbart werden. Hierbei gilt es auch die Betriebsart des Reinraumes, die nach Blatt 1 der VDI-Richtlinie 2083 definiert ist, für die Abnahme festzuschreiben. Die Betriebsarten beschränken sich hierbei auf drei Zustände.