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Konferenzschrift
Herstellung von Sensoren in Silizium mit Hilfe von anisotropen Aetzen
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1982
Conference Paper
Title
Herstellung von Sensoren in Silizium mit Hilfe von anisotropen Aetzen
Author(s)
Seidel, H.
Csepregi, L.
Mainwork
Sensoren, Technologie und Anwendung 1982. Vorträge der NTG-GMR-Fachtagung
Conference
Fachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung 1982
Language
German
IFT
Keyword(s)
Anisotrop
Ätztechnik
sensor
