Registrierung multimodaler Messungen am Beispiel eines MEMS

Die Prüfung von makroskopischen Bauteilen mit Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich erfordert häufig den Einsatz unterschiedlicher Messgeräte, um auf diese Weise sowohl grobe als auch feine Strukturen bewerten zu können. Dabei kommt der Datenfusion bzw. der Datenregistrierung eine besondere Rolle zu, da eine zuverlässige Aussage zur Qualität der Bauteile eine Kombination der gemessenen Datensätze erfordert. Anhand eines mikro-elektromechanischen Bauteils (MEMS) ohne Referenzmarken wird evaluiert, inwieweit sich verschiedene multimodale Messdaten automatisch registrieren lassen.