• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    Research Outputs
    Fundings & Projects
    Researchers
    Institutes
    Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Artikel
  4. Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden
 
  • Details
  • Full
Options
2009
Journal Article
Title

Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden

Abstract
Verschiedene Industriebereiche müssen vermehrt unter definiert reinen Bedingungen fertigen. Dabei ist nicht die Erhöhung des Yields von Bedeutung, sondern problemlose Umsetzung von Produktionsprozessen. Insbesondere Kontaminationen wie luftgetragene bzw. sedimentierte Partikel, Airborne Molecular Contamination sowie elektrostatische Eigenschaften sind ausschlaggebend. Zu den relevanten Branchen gehören die Halbleiterfertigung, die Feinwerktechnik, die Optik, die Mikrosystemfertigung sowie die Medizintechnik.
Author(s)
Bürger, Frank  
Journal
ReinRaumTechnik  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Strömungssimulation

  • Reinraum

  • Fertigung

  • Halbleiter

  • Mikroelektronik

  • Kontamination

  • Teilchen

  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Contact
© 2024