Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen

Bei reinraumtauglichen Fertigungseinrichtungen kann die Erzeugung von Partikeln durch beispielsweise Handhabungs- und Transportsysteme selbst bei der Auswahl geeigneter Komponenten und Materialien nicht vollkommen verhindert werden. Die strömungstechnische Auslegung von Fertigungseinrichtungen hat zum Ziel, diese innerhalb einer Anlage generierten Partikel kontrolliert und möglichst schnell abzuleiten. Die vorliegende Arbeit dient als Hilfsmittel zur strömungsgerechten Gestaltung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen. Es werden an Komponenten und Anlagen im Reinraum bei unterschiedlichen Strömungsverhältnissen Partikelmessungen und qualitative sowie quantitative Strömungsuntersuchungen durchgeführt. Die Ergebnisse dieser Untersuchungen sind eine Empfehlung hinsichtlich der Höhe der mittleren Turbulenzintensität in Reinräumen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung sowie 19 Allgemeingültigkeit besitzende Richtlinien. Mit Hilfe dieser bezüglich der konstruktiven Bauweise, der Anordn ung und der Aufstellung von Fertigungseinrichtungen sowie der Produkthandhabung aufgestellten Richtlinien ist es beispielsweise einem Anlagenkonstrukteur möglich, reinraumtaugliche Fertigungseinrichtungen unter Berücksichtigung strömungstechnischer Gesichtspunkte auszulegen.