Entwicklung und Einsatzmöglichkeit von Produktionssystemen für die modulare Prozesstechnik unter Berücksichtigung photonenunterstützter Prozesse

In diesem Beitrag wird zunächst die Bedeutung photonenunterstützter Prozesse herausgestellt und dann jene Verfahren behandelt, die zur Zeit am Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie bearbeitet werden. Photonenunterstützte Prozesse eignen sich als typische Einzelscheibenprozesse, ähnlich den plasmaunterstützten Verfahren, für die Realisierung eines integrierten Prozeßsystems. Nach einer kurzen Begriffsbestimmung wird die Einsatzmöglichkeit dieser noch jungen Technik am Beispiel eines NMOS-Prozesses dikutiert.