Interferometrische Formprüfung nicht-rotationssymmetrischer Asphären mit Hilfe synthetischer Hologramme

Nicht-rotationssymmetrische asphärische Flächen gewinnen zunehmend an Bedeutung als Resonatorspiegel für instabile Resonatorkonzepte sowie zur Anpassung der Modenverteilung von Hochleistungslasern an spezielle Bearbeitungsaufgaben. Am IPT werden derartige Spiegel mit Diamant-Bearbeitungsverfahren gefertigt. Zur Formprüfung wurde ein Interferometer mit synthetischen Prüfhologrammen entwickelt. Die Entwicklungsarbeiten umfaßten die Erarbeitung eines optischen Aufbaus, die Entwicklung von Algorithmen und Software für die Berechnung der Hologramme, die Anfertigung der Hologramme und ihren Einsatz im Interferometer. Dabei wurde das Ziel verfolgt, ein System zu realisieren, welches den kompletten Prüfvorgang von der Vorgabe der Solldaten bis zum Meßergebnis innerhalb einer 8-Stunden-Schicht erlaubt. Weiterhin wurden kostengünstige Lösungen angestrebt, die eine spätere industrielle Umsetzung erlauben sollen. Es wird berichtet über vergleichende Untersuchungen zu unterschiedlichen Rechnern (PC , Sun, Transputer-Netz), unterschiedlichen Ausgabegeräten (Laserdrucker, Lichtsatzgerät, Elektrostatik-Plotter) und unterschiedlichen Medien (HologrammFotoplatten, Holographie-Film, Dokumentenfilm). Die Möglichkeiten des Interferometers werden anhand eines Beispiels dargestellt.