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Konferenzschrift
Co-sputtering of rugate filters of reduced loss and roughness
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2014
Conference Paper
Title
Co-sputtering of rugate filters of reduced loss and roughness
Author(s)
Taeschner, Kerstin
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Bartzsch, Hagen
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Herffurth, Tobias
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Schröder, Sven
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Duparre, Angela
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Frach, Peter
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Mainwork
ICCG 2014, 10th International Conference on Coatings on Glass and Plastics
Conference
International Conference on Coatings on Glass and Plastics (ICCG) 2014
Language
English
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Keyword(s)
magnetron sputtering
optical coating
rugate filter
electron scattering
surface roughness
