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Laserverfahren zur Abscheidung dünner Schichten
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1997
Journal Article
Title
Laserverfahren zur Abscheidung dünner Schichten
Author(s)
Schultrich, B.
Hopfe, V.
Lenk, A.
Scheibe, H.J.
Witke, T.
Journal
Härterei-Technische Mitteilungen : HTM
Language
German
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Keyword(s)
Laser-Arc
PLD
CVD
Laser-Verfahren
Laserchemie
