Mikropumpen

Derzeit befinden sich über ein Dutzend verschiedene Mikropumpen in der Entwicklung. Den meisten ist gemeinsam, daß ein Großteil ihrer Einzelteile aus Silizium gefertigt wird. Da dieser Werkstoff seit vielen Jahren in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Elektronikchips benutzt wird, kann die Siliziummikromechanik dabei weitgehend auf die Methoden und Werkzeuge der Mikroelektronik zurückgreifen. Zur Realisierung dieser Bauelemente werden derzeit sehr unterschiedliche Antriebsprinzipien mit verschiedenen Herstellungsverfahren und Ventilvarianten kombiniert. Der Artikel bietet einen Überblick über die verwendeten Prinzipien und erzielten Leistungen. Dabei erkennt man an neueren Entwicklungen, daß neben Silizium zunehmend auch andere Materialien wie zum Beispiel Kunststoffe in der Mikrosystemtechnik zum Einsatz kommen.