• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    Have you forgotten your password?
    Research Outputs
    Fundings & Projects
    Researchers
    Institutes
    Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Konferenzschrift
  4. Quality control of SiC materials by optical detection of defects
 
  • Details
  • Full
Options
2015
Presentation
Title

Quality control of SiC materials by optical detection of defects

Title Supplement
Presentation held at Aixtron user meeting at ICSCRM 2015, Giardini Naxos, Italy, October, 4th - 9th, 2015
Other Title
Qualitätskontrollmessungen an SiC-Material durch optische Detektion der Defekte
Author(s)
Kallinger, Birgit  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Kaminzky, Daniel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Roßhirt, Katharina
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Berwian, Patrick  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Friedrich, Jochen  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Oppel, Steffen
Intego Vision Systeme GmbH
Project(s)
SiC-WinS
Funder
Bayerische Forschungsstiftung BFS  
Conference
Aixtron User Meeting 2015  
International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM) 2015  
DOI
10.24406/publica-fhg-389288
File(s)
N-364048.pdf (497.71 KB)
Rights
Under Copyright
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • quality control

  • silicon carbide

  • defects

  • uv-photoluminescence

  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Contact
© 2024