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Plasmaaktivierte Bedampfung - Ein neues Hochrate-Beschichtungsverfahren in der Industrialisierung
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2008
Journal Article
Title
Plasmaaktivierte Bedampfung - Ein neues Hochrate-Beschichtungsverfahren in der Industrialisierung
Author(s)
Schultheiß, E.
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Metzner, C.
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Journal
ZVO-Report
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
