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CMOS-Technologie auf SIMOX-Wafern
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1989
Book Article
Title
CMOS-Technologie auf SIMOX-Wafern
Author(s)
Belz, J.
Burbach, G.
Peter-Weidemann, J.
Vogt, H.
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1988
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS