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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Hard carbon coatings for IR-Optical components.
 
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1983
Conference Paper
Title

Hard carbon coatings for IR-Optical components.

Other Title
Harte Kohlenstoffschichten fuer IR-Optische Komponenten
Author(s)
Bubenzer, A.
Dischler, B.
Koidl, P.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Mainwork
Symposium on Optical Surface Technology 1983. Proceedings  
Conference
Symposium on Optical Surface Technology 1983  
Language
English
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Keyword(s)

  • amorpher Kohlenstoff

  • Antireflexschutz

  • Brechungsindex

  • chemischer Widerstand

  • Dichte

  • Fluorwasserstoff

  • Härte

  • Kohlendioxidlaser

  • Kohlenoxydlaser

  • optische Absorption

  • plasma

  • Radiofrequenz

  • Schutzschicht

  • Wasserstoffgehalt

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