Spektral abstimmbare IR-Sensoren für die industrielle Prozessmesstechnik und die medizinische Gasanalyse

Mikrospektrometer besitzen ein großes Potenzial in der IR-Absorptionsspektroskopie. Im Beitrag werden durchstimmbare IR-Sensoren für das mittlere und langwellige Infrarot vorgestellt, welche auf pyroelektrischen Detektoren und mikromechanischen Fabry-Pérot-Filtern basieren. Ausgewählte Beispielapplikationen aus der medizinischen und industriellen Analytik werden erläutert und ein Ausblick auf eine neue Generation höher auflösender und schnellerer FP-Spektrometer gegeben.

Miniature infrared spectrometers have great potential, e.g. for process and environmental analytics or in medical applications. This paper reports on tunable IR sensors for the mid and long wave infrared, which are based on pyroelectric detectors and MEMS Fabry-Perot filters. Selected applications in medical gas analysis and industrial process monitoring are presented. An outlook towards a new generation of fast and high resolving FP microspectrometers is given.