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1999
Journal Article
Title
Quo Vadis Reinraumtechnik?
Abstract
Über die aktuellen Entwicklungen in der Reinraumtechnik sprach Dr. Heiko Baumgartner anläßlich der Semicon '99 mit Dr. Johann Dorner, dem Abteilungsleiter Reinst- und Mikroproduktion am Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung in Stuttgart.
Language
German
Keyword(s)