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Mikrosysteme im Grenzgebiet von Biotechnologie und Halbleiterstrukturierung
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1992
Journal Article
Title
Mikrosysteme im Grenzgebiet von Biotechnologie und Halbleiterstrukturierung
Author(s)
Fuhr, G.
Journal
Spektrum der Wissenschaft
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
