2000
Doctoral Thesis
Title

Entwicklung einer Planarisierungstechnologie einschließlich Chemisch Mechanischen Polierens zur Fertigung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren

Thesis Note
Duisburg, Univ., Diss., 2000
Author(s)
Rieck, A.
Publishing Place
Duisburg
Language
German
Keyword(s)