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Abschlussarbeit
Modifizierung der Oberflächenergie an a-C:H:Si-Hartstoffschichten durch Einbau von Sauerstoff
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1994
Diploma Thesis
Title
Modifizierung der Oberflächenergie an a-C:H:Si-Hartstoffschichten durch Einbau von Sauerstoff
Thesis Note
Lübeck, FH, Dipl.-Arb., 1994
Author(s)
Plewe, D.
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST