Design, Fabrikation und Charakterisierung piezoelektrisch angetriebener 2D Mikrospiegel für Rasterscanner

In dieser Arbeit wird ein neuartiger kardanisch aufgehängter und piezoelektrisch angetriebener 2D-Mikrospiegel vorgestellt. Der Mikrospiegel besitzt zwei senkrechte, voneinander entkoppelte Torsionsmoden mit Eigenfrequenzen von 23,9 kHz bzw. 1,5 kHz. Dabei kann die langsame Achse quasi-statisch angetrieben werden, sodass der Mikrospiegel zusammen mit der resonant betriebenen schnellen Achse einen kompletten Rasterscanner ermöglicht. Ein neuartiger Herstellungsprozess erlaubt einen integrierten Aufbau des Mikrospiegels mit geringen Chip-Abmessungen. Der totale optische Scanwinkel um die x-Achse erreicht 22Grad bei resonantem Antrieb, während der Scanwinkel um die y-Achse 13,7Grad bei statischem bzw. 31Grad bei resonantem Antrieb beträgt.