Entwicklung und Simulation eines Verfahrens zum elektrochemischen Abtragen von Mikrogeometrien mit geschlossenem elektrolytischen Freistrahl

Im Rahmen dieser Arbeit wurde ein mikrofertigungstechnisches Verfahren entwickelt, das auf dem elektrochemischen Abtragen basiert. Es wird belegt, dass es unter Verwendung eines geschlossenen elektrolytischen Freistrahles möglich ist, hochgradig lokalisiert, bei extremen elektrischen Stromdichten, metallische Werkstücke formgebend anodisch aufzulösen. Das Potential der Applikation dieses Verfahrens für eine Herstellung von 3-D Mikrogeometrien kann der Arbeit zweifelsfrei entnommen werden. Für die Simulation des Verfahrens wurde ein FEM Modell entwickelt, das den Abtragprozess anhand von Modellgeometrien beschreibt.