Ein Vorschlag zur einheitlichen Beschreibung komplexer physikalischer und chemischer Abscheideprozesse
Abstract
Die Beschichtungstechniken haben inzwischen eine so große Bedeutung erlangt, dass ihre Nutzer einfachen Zugang zu einer verständlichen Übersicht der industriell verwertbaren Erkenntnisse bekommen müssen. Ein solcher steht der Praxis nicht zur Verfügung, obwohl der Wissensvermittlung gerade bei komplexen Zusammenhängen, wie sie in der Schichttechnologie vorliegen, eine entscheidende Rolle zukommt. Dieser Beitrag stellt einen Vorschlag dar, physikalische und chemische Abscheideprozesse einheitlich zu beschreiben.
