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Artikel
Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensoren
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1983
Journal Article
Titel
Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensoren
Author(s)
Csepregi, L.
Seidl, H.
Zeitschrift
Elektronik, Produktion und Prüftechnik : EPP
Language
German
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IFT
Tags
Anisotropie
Ätztechnik
sensor
Silizium