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Konferenzschrift
Mikrofügen mit Laserstrahlung
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1999
Conference Paper
Title
Mikrofügen mit Laserstrahlung
Author(s)
Legewie, F.
Bosse, L.
Wild, M.
Gillner, A.
Poprawe, R.
Mainwork
Werkstoffwoche '98. Bd.1: Symposium 1: Werkstoffe für die Informationstechnik. Symposium 12: Mikrosystemtechnik
Conference
Werkstoffwoche 1998
Language
German
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT
