Fertigung von Mikrokomponenten aus Glas

Mikrostrukturierte Glasbauteile werden auf Grund der hervorragenden Materialeigenschaften und des fertigungstechnischen Potenzials verstärkt in Anwendungen der Mikroreaktionstechnik und Mikrooptik oder in BioMEMS eingesetzt. Dabei zwingt die Funktionalität der Bauteile neben der Miniaturisierung der Strukturabmessungen häufig zur Gewährleistung sehr geringer Bauteiltoleranzen. Diese beiden Anforderungen führen zur Entwicklung neuer Fertigungsstrategien, da die üblichen mikrotechnischen Herstellungsprozesse nicht für die kostengünstige Mikrostrukturierung von Spezialgläsern eingesetzt werden können. Für die wirtschaftliche Anwendung von Glas in der Mikrosystemtechnik wird alternativ die Prägetechnologie eingesetzt, wobei der Herstellung des Abformwerkzeugs eine besondere Bedeutung zukommt.