Feinbearbeitung von Präzisionsoberflächen

Die Fertigung von Präzisionsoberflächen ist hauptsächlich gekennzeichnet durch Forderungen nach engen Toleranzen und hohen Oberflächengüten, um einer geforderten Funktionalität gerecht zu werden. Dabei grenzt die Funktionalität des Werkstoffspektrum und die geeigneten Bearbeitungsverfahren ein, wobei eine Abstimmung zwischen Werkstoff und Verfahren unabdingbar ist. Dieses Spannungsfeld soll anhand der Bearbeitung von Silizium verdeutlicht werden, wobei auf die Weiterentwicklung konventioneller Verfahren und den Einsatz neuartiger Bearbeitungsmethoden eingegangen wird.