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Konferenzschrift
Steuerbarer CMOS-Metalloxid-Gassensor
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2005
Conference Paper
Titel
Steuerbarer CMOS-Metalloxid-Gassensor
Author(s)
Wöllenstein, J.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Bauersfeld, M.-L.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Moretton, E.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Frerichs, H.
Willbertz, C.
Doll, T.
Lehmann, M.
Hauptwerk
Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Konferenz
Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
