Übersicht Projektarbeiten FhG-IMS im Verbundprojekt Smart Fabrication QM
Abstract
Folgende Beiträge wurden im Rahmen der Projektarbeiten erbracht: AFM-Untersuchungen technologiebedingter Rauhigkeiten von Si-OF. Entwicklung von Tools für Zuverlässigkeitsuntersuchungen an dünnen Gateoxiden. Modellierung von GOX-Ausfallzeit-Verteilungen. Analyse von Lebensdauer-Modellen von MOS-Kapazitäten. Entwicklung eines neuartigen WLR-Verfahrens für das Screening von Transistoren. Bereitstellung von zwei WLR-Tests für Elektromigrationsmessungen an Leitbahnen und Hot Carrier Tests an bipolaren Transistoren. Mitwirkungsleistungen bei der Herstellung der Meßbereitschaft von zwei WLR-Meßplätzen bei den Industriepartnern (Konzept, Software, Training, Spezifikationen, Referenzmessungen). Entwicklung eines Defekt Management Clusters im MEM-Komplex.
