2002
Doctoral Thesis
Titel

Modellierung von transienten Effekten bei der Diffusion von Bor in Silicium
Alternative
Modeling of transient effects for diffusing boron into silicon
ThesisNote
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2002
Author(s)
Stiebel, D.
Verlag
Verlagsort
Aachen
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Language
German