Ionenpräparation von keramischen Pulvern und Grünkörpern für die hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie
Alternative
Ion-beam-preparation of ceramic powders and preforms for high-resolution scanning electron microscopy
Abstract
Anhand der Werkstoffsysteme Siliziumnitrid und Titannitrid wurden die Vorteile der Ionenstrahlpräparation an Pulvern und Grünkörpern aufgezeigt. Es wurde verdeutlicht, dass es möglich ist, Werkstoffbereiche unterschiedlicher Festigkeiten und Dichten kantenscharf für die Rasterelektronenmikroskopie zu präparieren, um Strukturgradienten nachzuweisen. Damit wurde für diese Materialien eine Methode entwickelt, um Pulver und Grünkörper hinsichtlich ihrer Kristallit- und Porenstruktur sowie der Verteilung der Bindephase qualitativ und auch quantitativ charakterisieren zu können.
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The special features and benefits of ion-based microsection prepn. of ceramic materials (Si3N4, TiN) is demonstrated by examples providing high-quality sharp-aged contours for successful ceramog. structure-gradient anal.
