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Konferenzschrift
LTCC Membrane mit integrierter Heizern, Temperatur- und Dehnungssensorik
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2013
Conference Paper
Title
LTCC Membrane mit integrierter Heizern, Temperatur- und Dehnungssensorik
Other Title
LTCC membrane with integrated heaters, temperature sensors and strain gauges
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Author(s)
Gutzeit, Nam
Appelfelder, Michael
Reinlein, Claudia
Fischer, Michael
Müller, Jens
Mainwork
MikroSystemTechnik Kongress 2013. CD-ROM
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2013
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF