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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. LTCC Membrane mit integrierter Heizern, Temperatur- und Dehnungssensorik
 
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2013
Conference Paper
Title

LTCC Membrane mit integrierter Heizern, Temperatur- und Dehnungssensorik

Other Title
LTCC membrane with integrated heaters, temperature sensors and strain gauges
Author(s)
Gutzeit, Nam
Appelfelder, Michael
Reinlein, Claudia
Fischer, Michael  
Müller, Jens  
Mainwork
MikroSystemTechnik Kongress 2013. CD-ROM  
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2013  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
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