2013
Conference Paper
Titel

LTCC Membrane mit integrierter Heizern, Temperatur- und Dehnungssensorik
Alternative
LTCC membrane with integrated heaters, temperature sensors and strain gauges
Author(s)
Gutzeit, Nam
Appelfelder, Michael
Reinlein, Claudia
Fischer, Michael
Müller, Jens
Hauptwerk
Konferenz
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Language
German