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Konferenzschrift
MicroDAC - ein Messverfahren zur Ermittlung von Werkstoffeigenschaften im Mikro- und Nanobereich
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2004
Conference Paper
Title
MicroDAC - ein Messverfahren zur Ermittlung von Werkstoffeigenschaften im Mikro- und Nanobereich
Author(s)
Keller, J.
Vogel, D.
Michel, B.
Mainwork
Sensoren und Messsysteme 2004
Conference
Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2004
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM