Wirkzusammenhänge beim Planparallelpolieren von Hochleistungskeramik
Abstract
In der Arbeit werden in grundlegenden theoretischen und experimentellen Untersuchungen des Planparallelpolierläppens von Hochleistungskeramik die prozeßbestimmenden Wirkzusammenhänge identifiziert und analysiert. Damit wird für den Anwender die Basis für eine systematische Prozeßoptimierung beim Polierläppen geschaffen. Da der Vorgang der Suspensionsverteilung maßgeblich durch die Werkstückbewegung relativ zur Läppscheibenoberfläche geprägt wird, ist eine Beschreibung der kinematischen Verhältnisse grundlegender Bestandteil der Arbeit. Darauf aufbauend wird die Wirkung einer Scheibennutung in die Betrachtung einbezogen. Es wird versucht, anhand der zusammenhängenden Betrachtung aller Wirkpartner bzw. ihrer Veränderung im Prozeßverlauf ein Verständnis zu erarbeiten, auf welche Weise der Materialabtrag bzw. der Korneingriffsvorgang im Wirkspalt abläuft.
