Aspekte der Reinheitstechnik. Reinraumtechnik: Schlüsselproduktionstechnologie

In der Halbleiterindustrie gehen Leistungs- und Geschwindigkeitssteigerung eng mit Miniaturisierungsprozessen der integrierten Schaltkreise einher. Dieser Trend bedingt dabei nicht zuletzt den Einsatz modernster Reinheitstechnik. Unter Reinheitstechnik versteht man in diesem Sinne alle Maßnahmen, die unternommen werden, um die für das Produkt kritischen Kontaminationen auf ein unkritisches Niveau zu reduzieren. Die Strukturbreiten im Nanometerbereich machen die Halbleiterindustrie zur anspruchsvollsten Anwendung, die auf die Kontrolle von Kontaminationen angewiesen ist. Vermehrt setzen aber auch andere Branchen auf den Einsatz von Reinheitstechnik, bspw. Medizin- und Pharmatechnik, Raumfahrttechnik oder Automobilindustrie. Herzstück der Reinheitstechnik ist dabei immer ein Reinraum. Deshalb hat sich die Reinraumtechnik mittlerweile auch zu einer Schlüsselproduktionstechnologie entwickelt. Am Beispiel einer LED-Produktion und der Reinigung von Raumfahrtkomponenten soll an zwei Beispielen anschaulich gezeigt werden, wie ein schlüssiges Reinraumkonzept geplant und realisiert wird.