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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Verfahren zur Bestimmung von Deformationen im Mikro- und Nanobereich
 
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2010
Conference Paper
Title

Verfahren zur Bestimmung von Deformationen im Mikro- und Nanobereich

Author(s)
Keller, J.
Vogel, D.
Maus, I.
Gollhardt, A.
Michel, B.
Mainwork
Mikro-Nano-Integration. CD-ROM  
Conference
Workshop Mikro-Nano-Integration 2010  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
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