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Konferenzschrift
Verfahren zur Bestimmung von Deformationen im Mikro- und Nanobereich
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2010
Conference Paper
Title
Verfahren zur Bestimmung von Deformationen im Mikro- und Nanobereich
Author(s)
Keller, J.
Vogel, D.
Maus, I.
Gollhardt, A.
Michel, B.
Mainwork
Mikro-Nano-Integration. CD-ROM
Conference
Workshop Mikro-Nano-Integration 2010
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM