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Abschlussarbeit
Grundlegende Untersuchungen zur plasmagestützten Abscheidung dünner Verschleißschutzschichten auf Schüttgut
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1997
Doctoral Thesis
Title
Grundlegende Untersuchungen zur plasmagestützten Abscheidung dünner Verschleißschutzschichten auf Schüttgut
Thesis Note
Zugl.: Braunschweig, TU, Diss., 1996
Author(s)
Reuter, W.
Publisher
VDI-Verlag
Publishing Place
Düsseldorf
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Keyword(s)
CVD-Verfahren
PVD-Verfahren
Schüttgut