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2015
Doctoral Thesis
Title
Nitridgebundenes Siliziumnitrid: Wiederverwendbare Tiegel für die gerichtete Erstarrung von Silizium
Abstract
Diese Dissertation untersucht den Einsatz alternativer, mehrmalig einsetzbarer Tiegel aus Siliziumnitrid (Si3N4) für die gerichtete Erstarrung von Silizium. Das Potential der Tiegel wird systematisch evaluiert, wobei die Untersuchungen auf die Benetzung der Tiegel durch das flüssige Silizium, auf deren Wiederverwendbarkeit sowie auf die Verunreinigung des Siliziums durch die Tiegel fokussiert sind.
Thesis Note
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2015