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2018
Journal Article
Title
Klein, kleiner, Nano. Optische Oberflächenmessverfahren zur Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen
Abstract
Im Gegensatz zu den in der Industrie üblicherweise eingesetzten taktilen Systemen zur Oberflächenmessung eignen sich optische Verfahren sehr gut für die Beurteilung von Oberflächen, da sie meist auch eine direkte visuelle Repräsentation der Oberfläche ermöglichen.