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Leckraten-Testverfahren für resonant betriebene MEMS-Sensoren
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2007
Journal Article
Title
Leckraten-Testverfahren für resonant betriebene MEMS-Sensoren
Title Supplement
Dichtigkeitstests gegen Ausfälle
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Author(s)
Reinert, W.
Journal
Hanser Automotive
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
