Systemintegration optoelektronischer Baugruppen auf keramischen Substraten

Der Beitrag stellt ein auf ebenen Keramiksubstraten basierendes Aufbaukonzept für optoelektronische Systeme vor, das die Integration von Optik, Elektronik und Baulementen der Siziliummikromechanik zum Aufbau hybrider multifunktionaler Systeme erlaubt. Dazu werden die keramischen Substrate mechanisch so strukturiert, dass die entstehenden, im Substrat integrierten Geometrien zum Fassen optischer Bauelemente genutzt werden können.