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Abschlussarbeit
Herstellung und Charakterisierung eines elektrostatischen Antriebs für MEMS-Mikropumpen
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2020
Master Thesis
Title
Herstellung und Charakterisierung eines elektrostatischen Antriebs für MEMS-Mikropumpen
Thesis Note
Stuttgart, Univ., Master Thesis, 2020
Author(s)
Anheuer, Daniel
Publishing Place
Stuttgart
Language
German
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT
Keyword(s)
MEMS
Mikropumpe
elektrostatisch