Spanende Mikrofertigung

Für Mikrosysteme müssen oftmals Strukturen von mehreren Hundert Mikrometern aus unterschiedlichsten Materialien herausgearbeitet werden. Spanende Fertigungsverfahren, wie Schleifen, Fräsen oder Bohren, bieten dabei im Vergleich zu Ätztechnologien mehr Flexibilität bei kleinen Stückzahlen, höhere Schnelligkeit und ein größeres herstellbares Formenspektrum. For the manufacture of micromechanical structures with dimensions under 1 millimeter, microcutting by milling, drilling and grinding has a lot of advantages. Compared to the etching technologies, microcutting is faster, more flexible and causes less investment costs. Machines and tools for microcutting are proposed. First machining results are described.