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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Phase analysis of interfacial carbon in GaAs grown by molecular beam epitaxy
 
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1993
Conference Paper
Title

Phase analysis of interfacial carbon in GaAs grown by molecular beam epitaxy

Other Title
Phasenanalyse von Kohlenstoff an der Grenzfläche Molekularstrahl-epitaktisch gewachsener Schichten auf GaAs-Substrat
Author(s)
Maier, M.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Köhler, Klaus  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Mainwork
Secondary Ion Mass Spectrometry. SIMS IX. Proceedings of the Ninth International Conference  
Conference
International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry 1993  
Language
English
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Keyword(s)
  • carbon phase analysis

  • Kohlenstoffphasenanalyse

  • MBE

  • SIMS

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